X線表面散乱法を用いた極微パターン形状の定量的評価法の開発

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Material Type: 図書
Title: X線表面散乱法を用いた極微パターン形状の定量的評価法の開発
Title Transcription: Xセンヒョウメンサンランホウオモチイタキョクビパターンケイジョウノテイリョウテキヒョウカホウノカイハツ
Author/Editor: 梅野, 正隆, 大阪大学
Author Heading: 梅野, 正隆ウメノ, マサタカ
Publication Date: 1995-1996
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: X線回析 Xセンカイセキ
CTR散乱 CTRサンラン
マイクロデバイスマイクロデバイス
極微細構造キヨクビサイコウゾウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555337
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07555337
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007004861
http://id.ndl.go.jp/bib/000007004861
Bibliographic Record Category (NDL): 214