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紫外光照射による気体の励起反応を援用した窒化ケイ素セラミツクスの仕上面創成の研究

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紫外光照射による気体の励起反応を援用した窒化ケイ素セラミツクスの仕上面創成の研究

Call No. (NDL)
Y151-H07555361
Bibliographic ID of National Diet Library
000007004883
Material type
図書
Author
戸倉, 和, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シガイコウ ショウシャ ニ ヨル キタイ ノ レイキハンノウ オ エンヨウ シタ チッカ ケイソ セラミツクス ノ シアゲメン ソウセイ ノ ケンキュウ
Author/Editor
戸倉, 和, 東京工業大学
Author Heading
戸倉, 和 トクラ, ヒトシ
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
紫外光照射 シガイコウシヨウシヤ
エキシマレーザ エキシマレーザ
セラミツク セラミツク
表面改質 ヒヨウメンカイシツ
ミズ
雰囲気 フンイキ
水熱加工 スイネツカコウ
研磨 ケンマ