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デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

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デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H07555418
Bibliographic ID of National Diet Library
000007004935
Material type
図書
Author
黒岩, 紘一, 東京農工大学
Publisher
-
Publication date
1995-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デジタル MOCVD ホウ ニ ヨル PZT キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
黒岩, 紘一, 東京農工大学
Author Heading
黒岩, 紘一 クロイワ, コウイチ
Publication Date
1995-1997
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
強誘電体薄膜 キヨウユウデンタイハクマク
不揮発性メモリ フキハツセイメモリ
PZT PZT
ペロブスカイト型結晶 ペロブスカイトガタケツシヨウ
デジタルCVD デジタルCVD