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マイクロマシニングによる弾性表面波ジヤイロスコープの研究

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マイクロマシニングによる弾性表面波ジヤイロスコープの研究

Call No. (NDL)
Y151-H07555424
Bibliographic ID of National Diet Library
000007004941
Material type
図書
Author
樋口, 俊郎, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1995-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
マイクロマシニング ニ ヨル ダンセイ ヒョウメンハ ジヤイロスコープ ノ ケンキュウ
Author/Editor
樋口, 俊郎, 東京大学
Author Heading
樋口, 俊郎 ヒグチ, トシロウ
Publication Date
1995-1997
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
ジヤイロセンサ ジヤイロセンサ
マイクロセンサ マイクロセンサ
弾性表面 ダンセイヒヨウメン
レイリー波 レイリーナミ
ニオブ酸リチウム ニオブサンリチウム
圧電センサ アツデンセンサ
電気機械変換器 デンキキカイヘンカンキ
圧電トランスデユーサ アツデントランスデユーサ