CCDマルチチヤンネルアナライザを用いる瞬間分光型マイクロエリプソメータの試作

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Material Type: 図書
Title: CCDマルチチヤンネルアナライザを用いる瞬間分光型マイクロエリプソメータの試作
Title Transcription: CCD マルチチヤンネルアナライザオモチイルシュンカンブンコウガタマイクロエリプソメータノシサク
Author/Editor: 杉本, 克久, 東北大学
Author Heading: 杉本, 克久スギモト, カツヒサ
Publication Date: 1995-1996
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: エリプソメトリーエリプソメトリー
マイクロエリプソメータマイクロエリプソメータ
分光エリプソメータブンコウエリプソメータ
CCDマルチチヤンネル検出器 CCDマルチチヤンネルケンシユツキ
不働態皮膜フドウタイヒマク
膜厚マクアツ
光学定数コウガクテイスウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555510
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07555510
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007005018
http://id.ndl.go.jp/bib/000007005018
Bibliographic Record Category (NDL): 214