イオンビームを用いた傾斜機能cBN薄膜合成の研究

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Material Type: 図書
Title: イオンビームを用いた傾斜機能cBN薄膜合成の研究
Title Transcription: イオンビームオモチイタケイシャキノウ cBN ハクマクゴウセイノケンキュウ
Author/Editor: 三宅, 正司, 大阪大学
Author Heading: 三宅, 正司ミヤケ, ショウジ
Publication Date: 1995-1996
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: イオンビームイオンビーム
イオンビーム支援蒸着イオンビームシエンジヨウチヤク
cBN CBN
界面制御カイメンセイギヨ
密着性ミツチヤクセイ
傾斜機能ケイシヤキノウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555521
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07555521
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007005028
http://id.ndl.go.jp/bib/000007005028
Bibliographic Record Category (NDL): 214