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図書

能動自成絞りを用いた超精密案内機構の研究

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能動自成絞りを用いた超精密案内機構の研究

Call No. (NDL)
Y151-H07650178
Bibliographic ID of National Diet Library
000007006945
Material type
図書
Author
水本, 洋, 鳥取大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ノウドウジセイシボリ オ モチイタ チョウセイミツ アンナイ キコウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
水本, 洋, 鳥取大学
Author Heading
水本, 洋, 1946- ミズモト, ヒロシ, 1946- ( 00165161 )Authorities
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
圧電素子 アツデンソシ
位置決め イチギメ
空気静圧案内面 クウキセイアツアンナイメン
真直度 シンチヨクド
静圧軸受 セイアツジクウケ
静剛性 セイゴウセイ
ナノテクノロジ ナノテクノロジ
能動制御 ノウドウセイギヨ