低電圧動作、大電流密度の真空マイクロデバイスの開発に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 低電圧動作、大電流密度の真空マイクロデバイスの開発に関する研究
• Title Transcription: テイデンアツ ドウサ 、 ダイ デンリュウ ミツド ノ シンクウ マイクロデバイス ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 村田, 顕二, 大阪府立大学
• Author Heading: 村田, 顕二 ムラタ, ケンジ
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 微小電子線源 ビシヨウデンシセンゲン; 電界放出 デンカイホウシユツ; ニツケル ニツケル; シリコン シリコン; ホログラフイツクリソグラフイ ホログラフイツクリソグラフイ; リフトオフ リフトオフ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07650400
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07650400
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007007070; http://id.ndl.go.jp/bib/000007007070
• Bibliographic Record Category (NDL): 214