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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- プラズマ ショリ ニ ヨル テツ シリサイド ノ ネツデンヘンカン セイノウ コウジョウ ト ミクロ コウゾウ ト ノ カンケイ
- Author/Editor
- 三木, 俊克, 山口大学
- Author Heading
- 三木, 俊克 ミキ, トシカツ
- Publication Date
- 1995-1996
- Publication Date (W3CDTF)
- 1995
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(C)
- Subject Heading
- 熱電材料 ネツデンザイリヨウ鉄シリサイド テツシリサイドプラズマ処理 プラズマシヨリ粒界 リユウカイシリコンゲルマニウム シリコンゲルマニウム