金属の陽極処理膜を利用した微小機械装置の研究

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Material Type: 図書
Title: 金属の陽極処理膜を利用した微小機械装置の研究
Title Transcription: キンゾクノヨウキョクショリマクオリヨウシタビショウキカイソウチノケンキュウ
Author/Editor: 佐藤, 洋一, 東海大学短期大学部
Author Heading: 佐藤, 洋一サトウ, ヨウイチ
Publication Date: 1995-1996
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: マイクロマシンマイクロマシン
アルミニウムアルミニウム
陽極酸化ヨウキヨクサンカ
多孔質アルミナタコウシツアルミナ
片持ち梁カタモチハリ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07805035
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07805035
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007010062
http://id.ndl.go.jp/bib/000007010062
Bibliographic Record Category (NDL): 214