低域混成波を用いた大口径高密度プロセスプラズマの生成と診断

• Material Type: 図書
• Title: 低域混成波を用いた大口径高密度プロセスプラズマの生成と診断
• Title Transcription: テイイキ コンセイハ オ モチイタ ダイコウケイ コウミツド プロセスプラズマ ノ セイセイ ト シンダン
• Author/Editor: 橘, 邦英, 京都大学
• Author Heading: 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ
• Publication Date: 1996-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: プラズマプロセス プラズマプロセス; 高密度プラズマ源 コウミツドプラズマゲン; 低域混成波 テイイキコンセイハ; 波動伝搬 ハドウデンパン; シミユレーシヨン シミユレーシヨン; プラズマ診断 プラズマシンダン; プラズマパラメータ プラズマパラメータ; 空間分布特性 クウカンブンプトクセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08405006
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08405006
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007011173; http://id.ndl.go.jp/bib/000007011173
• Bibliographic Record Category (NDL): 214