固体表面への単分子層修飾と初期成膜の制御

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Material Type: 図書
Title: 固体表面への単分子層修飾と初期成膜の制御
Title Transcription: コタイヒョウメンヘノタンブンシソウシュウショクトハツキセイマクノセイギョ
Author/Editor: 小宮山, 宏, 東京大学
Author Heading: 著者：小宮山, 宏, 1944- コミヤマ, ヒロシ, 1944- ( 00215918 )Authorities
Publication Date: 1996-1998
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 単分子層修飾タンブンシソウシユウシヨク
初期成膜シヨキセイマク
CVD CVD
TEOS TEOS
単原子層酸化タンゲンシソウサンカ
トリフルオロトキシ基トリフルオロトキシキ
被覆率ヒフクリツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08405051
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08405051
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011212
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011212
Bibliographic Record Category (NDL): 214