高アスペクト比X線リソグラフイによる高出力マイクロアクチユエータ

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Material Type: 図書
Title: 高アスペクト比X線リソグラフイによる高出力マイクロアクチユエータ
Title Transcription: コウアスペクトヒ Xセンリソグラフイニヨルコウシュツリョクマイクロアクチユエータ
Author/Editor: 杉山, 進, 立命館大学
Author Heading: 杉山, 進スギヤマ, ススム
Publication Date: 1996-1998
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: デイープX線リソグラフイーデイープXセンリソグラフイー
高アスペクト微細構造体コウアスペクトビサイコウゾウタイ
シンクロトロン放射光シンクロトロンホウシヤコウ
X線マスク Xセンマスク
LIGAプロセス LIGAプロセス
Ni電鋳 NIデンチユウ
マイクロアクチユエータマイクロアクチユエータ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455046
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455046
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011728
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011728
Bibliographic Record Category (NDL): 214