SEM環境下での超高速マイクロマシニングの研究

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Material Type: 図書
Title: SEM環境下での超高速マイクロマシニングの研究
Title Transcription: SEM カンキョウカデノチョウコウソクマイクロマシニングノケンキュウ
Author/Editor: 長尾, 高明, 東京大学
Author Heading: 著者：長尾, 高明, 1939- ナガオ, タカアキ, 1939- ( 00147356 )Authorities
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 微小切削ビシヨウセツサク
単結晶シリコンタンケツシヨウシリコン
電子顕微鏡デンシケンビキヨウ
延性モード切削エンセイモードセツサク
脆性モード切削ゼイセイモードセツサク
結晶方位依存性ケツシヨウホウイイゾンセイ
遠隔微細加工エンカクビサイカコウ
立体視リツタイシ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455068
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455068
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011750
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011750
Bibliographic Record Category (NDL): 214