単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究

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Material Type: 図書
Title: 単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究
Title Transcription: タンケッショウ Al2O3 マクジョウヘノチョウヘイタン・コウヒンシツ Si ハクマクセイチョウホウノケンキュウ
Author/Editor: 石田誠, 豊橋技術科学大学
Author Heading: 著者：石田, 誠, 1950- イシダ, マコト, 1950- ( 01223195 )Authorities
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: SOI構造 SOIコウゾウ
Siエピタキシヤル成長 SIエピタキシヤルセイチヨウ
絶縁基板ゼツエンキバン
MBE法 MBEホウ
バツフア層バツフアソウ
単結晶絶縁薄膜タンケツシヨウゼツエンハクマク
基板表面制御キバンヒヨウメンセイギヨ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455144
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455144
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011822
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011822
Bibliographic Record Category (NDL): 214