イオン注入ボイドを用いた新しいSOI作製法(ボイドカツト法)に関する基礎的研究

• Material Type: 図書
• Title: イオン注入ボイドを用いた新しいSOI作製法(ボイドカツト法)に関する基礎的研究
• Title Transcription: イオン チュウニュウ ボイド オ モチイタ アタラシイ SOI サクセイホウ(ボイドカツトホウ) ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 原, 徹, 法政大学
• Author Heading: 原, 徹 ハラ, トオル
• Publication Date: 1996-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 水素イオン スイソイオン; シリコン シリコン; SOI SOI; デラミネーシヨン デラミネーシヨン; 薄膜 ハクマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455151
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08455151
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007011829; http://id.ndl.go.jp/bib/000007011829
• Bibliographic Record Category (NDL): 214