電子ビームプロセスによる半導体表面の局所歪の制御

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Material Type: 図書
Title: 電子ビームプロセスによる半導体表面の局所歪の制御
Title Transcription: デンシビームプロセスニヨルハンドウタイヒョウメンノキョクショワイノセイギョ
Author/Editor: 尾笹, 一成, 理化学研究所
Author Heading: 尾笹, 一成オザサ, カズナリ
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: フツ化ガリウムフツカガリウム
フツ化インジウムフツカインジウム
電子線照射デンシセンシヨウシヤ
表面歪ヒヨウメンヒズミ
ヒ素とリンの置換ヒソトリンノチカン
自己形成ドツトジコケイセイドツト
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455153
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455153
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011831
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011831
Bibliographic Record Category (NDL): 214