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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- エネルギーリュウ リロン ニ モトヅク ジンコウ キテイマク センサ.アクチユエータ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 安藤, 繁, 東京大学
- Author Heading
- 安藤, 繁 アンドウ, シゲル
- Publication Date
- 1996-1998
- Publication Date (W3CDTF)
- 1996
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- 聴覚センサ チヨウカクセンサ基底膜モデル キテイマクモデル共振系アレイ キヨウシンケイアレイマイクロマシニング マイクロマシニングマイクロアクチユエータ マイクロアクチユエータフイツシユボーン構造 フイツシユボーンコウゾウ