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X線全反射法によるSiOx非晶質薄膜の定量構造解析

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X線全反射法によるSiOx非晶質薄膜の定量構造解析

Call No. (NDL)
Y151-H08455290
Bibliographic ID of National Diet Library
000007011959
Material type
図書
Author
松原, 英一郎, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1996-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
Xセン ゼン ハンシャホウ ニ ヨル SiOx ヒショウシツ ハクマク ノ テイリョウ コウゾウ カイセキ
Author/Editor
松原, 英一郎, 京都大学
Author Heading
著者 : 松原, 英一郎, 1954- マツバラ, エイイチロウ, 1954- ( 00677932 )Authorities
Publication Date
1996-1997
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
X線全反射現象 Xセンゼンハンシヤゲンシヨウ
酸化シリコン膜 サンカシリコンマク
窒化シリコン膜 チツカシリコンマク
非晶質 ヒシヨウシツ
原子構造 ゲンシコウゾウ
薄膜 ハクマク
X線回折 Xセンカイセツ