超LSI多層配線Al CVD装置の開発

• Material Type: 図書
• Title: 超LSI多層配線Al CVD装置の開発
• Title Transcription: チョウ LSI タソウ ハイセン Al CVD ソウチ ノ カイハツ
• Author/Editor: 坪内, 和夫, 東北大学
• Author Heading: 坪内, 和夫 ツボウチ, カズオ
• Publication Date: 1996-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: 多層配線 タソウハイセン; Al CVD ALCVD; ClF3クリーニング CLF3クリーニング; クラスター装置 クラスターソウチ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08555073
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08555073
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007013313; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013313
• Bibliographic Record Category (NDL): 214