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プロセツシングのための磁気中性線放電(NLD)プラズマの振舞に関する研究

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プロセツシングのための磁気中性線放電(NLD)プラズマの振舞に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H08558045
Bibliographic ID of National Diet Library
000007013717
Material type
図書
Author
村岡, 克紀, 九州大学
Publisher
-
Publication date
1996-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
プロセツシング ノ タメ ノ ジキ チュウセイセン ホウデン(NLD)プラズマ ノ フルマイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
村岡, 克紀, 九州大学
Author Heading
著者 : 村岡, 克紀, 1940- ムラオカ, カツノリ, 1940- ( 00396176 )Authorities
九州大学 キュウシュウ ダイガク ( 00260072 )Authorities
Publication Date
1996-1998
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
磁気中性線 ジキチユウセイセン
プロセシングプラズマ プロセシングプラズマ
電子温度 デンシオンド
電子密度 デンシミツド
レーザートムソン散乱法 レーザートムソンサンランホウ
レーザー誘起蛍光法 レーザーユウキケイコウホウ
電子速度分布関数 デンシソクドブンプカンスウ
換算電界 カンサンデンカイ