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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- TiN ヒフク ステンレスコウ ノ ピンホール ケッカン ト タイショクセイ ヒョウカ
- Author/Editor
- 内田, 仁, 姫路工業大学
- Author Heading
- 内田, 仁 ウチダ, ヒトシ
- Publication Date
- 1996-1997
- Publication Date (W3CDTF)
- 1996
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 窒化物薄膜 チツカブツハクマク高周波反応性スパツタリング コウシユウハハンノウセイスパツタリングピンホール欠陥 ピンホールケツカン分極曲線 ブンキヨクキヨクセン