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超高密度イオンビーム照射による表面改質の研究

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超高密度イオンビーム照射による表面改質の研究

Call No. (NDL)
Y151-H08650843
Bibliographic ID of National Diet Library
000007015132
Material type
図書
Author
松尾, 二郎, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1996-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウコウミツド イオンビーム ショウシャ ニ ヨル ヒョウメン カイシツ ノ ケンキュウ
Author/Editor
松尾, 二郎, 京都大学
Author Heading
松尾, 二郎 マツオ, ジロウ
Publication Date
1996-1997
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
クラスターイオン クラスターイオン
酸化反応 サンカハンノウ
エツチング エツチング
スパツタリング スパツタリング
SiC SIC
薄膜形成 ハクマクケイセイ
InOx INOX
導電性透明薄膜 ドウデンセイトウメイハクマク