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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- マイクロメカトロニクス ・ システム ニ オケル 3 ジゲン マイクロ コウゾウ セイサク プロセス ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 原島, 文雄, 東京大学
- Author Heading
- 原島, 文雄 ハラシマ, フミオ
- Publication Date
- 1997-1998
- Publication Date (W3CDTF)
- 1997
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 国際学術研究
- Subject Heading
- マイクロメカトロニクス マイクロメカトロニクス3次元マイクロ装置 3ジゲンマイクロソウチMEMS MEMSナノ ナノマニピユレーシヨン マニピユレーシヨンプロセス プロセスマイクロ・アクチユエータ マイクロ・アクチユエータマイクロ・モータ マイクロ・モータ