図書

半導体モノリシツク光集積回路のための面積選択有機金属気相エピタキシ

Icons representing 図書

半導体モノリシツク光集積回路のための面積選択有機金属気相エピタキシ

Call No. (NDL)
Y151-H09450007
Bibliographic ID of National Diet Library
000007018259
Material type
図書
Author
中野, 義昭, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハンドウタイ モノリシツク ヒカリ シュウセキ カイロ ノ タメ ノ メンセキ センタク ユウキ キンゾク キソウ エピタキシ
Author/Editor
中野, 義昭, 東京大学
Author Heading
中野, 義昭 ナカノ, ヨシアキ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
MOVPE MOVPE
MOCVD MOCVD
選択成長 センタクセイチヨウ
MOVE2 MOVE2
分光エリプソメトリ ブンコウエリプソメトリ
InGaAs/InP INGAAS/INP
シミユレーシヨン シミユレーシヨン
気相拡散 キソウカクサン