X線を用いた半導体表面の極微細構造の定量的評価法の開発

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Material Type: 図書
Title: X線を用いた半導体表面の極微細構造の定量的評価法の開発
Title Transcription: Xセンオモチイタハンドウタイヒョウメンノゴクビサイコウゾウノテイリョウテキヒョウカホウノカイハツ
Author/Editor: 梅野, 正隆, 大阪大学
Author Heading: 梅野, 正隆ウメノ, マサタカ
Publication Date: 1997-1998
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: X線回折 Xセンカイセツ
CTR散乱 CTRサンラン
マイクロデバイスマイクロデバイス
極微細構造キヨクビサイコウゾウ
シリコンシリコン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09450016
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09450016
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007018263
http://id.ndl.go.jp/bib/000007018263
Bibliographic Record Category (NDL): 214