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ナノCMMレーザトラツピングプローブの試作開発

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ナノCMMレーザトラツピングプローブの試作開発

Call No. (NDL)
Y151-H09555044
Bibliographic ID of National Diet Library
000007018841
Material type
図書
Author
三好, 隆志, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ナノ CMM レーザトラツピングプローブ ノ シサク カイハツ
Author/Editor
三好, 隆志, 大阪大学
Author Heading
三好, 隆志 ミヨシ, タカシ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
ナノCMM ナノCMM
マイクロパーツ マイクロパーツ
レーザトラツピング レーザトラツピング
位置検出プローブ イチケンシユツプローブ
光放射圧 ヒカリホウシヤアツ
Mirau干渉計 MIRAUカンシヨウケイ
3次元位置座標 3ジゲンイチザヒヨウ
微粒子 ビリユウシ