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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- マイクロハ カネツ サンソ プラズマ ニ ヨル シオ ハイキブツ ノ チョクセツ ガラスコカ
- Author/Editor
- 鈴木, 正昭, 東京工業大学
- Author Heading
- 鈴木, 正昭 スズキ, マサアキ
- Publication Date
- 1997-1998
- Publication Date (W3CDTF)
- 1997
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)