フレキシブル基板を用いた大面積ガスマイクロストリツプ測定器の開発

• Material Type: 図書
• Title: フレキシブル基板を用いた大面積ガスマイクロストリツプ測定器の開発
• Title Transcription: フレキシブル キバン オ モチイタ ダイ メンセキ ガスマイクロストリツプ ソクテイキ ノ カイハツ
• Author/Editor: 尾高, 茂, 高エネルギー加速器研究機構
• Author Heading: 尾高, 茂 オダカ, シゲル
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: ガスマイクロストリツプ ガスマイクロストリツプ; フレキシブル基板 フレキシブルキバン; ポリイミド基板 ポリイミドキバン; フオトリソグラフ フオトリソグラフ; 超精密切削 チヨウセイミツセツサク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09640383
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09640383
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007019662; http://id.ndl.go.jp/bib/000007019662
• Bibliographic Record Category (NDL): 214