マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究
• Title Transcription: マイクロマシンヨウ シリコン ビショウ キコウ ノ ヒロウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 辻, 裕一, 東京電機大学
• Author Heading: 辻, 裕一 ツジ, ヒロカズ
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: マイクロマシン マイクロマシン; マイクロメカニズム マイクロメカニズム; 疲労 ヒロウ; 微小材料 ビシヨウザイリヨウ; 疲労試験機 ヒロウシケンキ; シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650117
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09650117
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007020001; http://id.ndl.go.jp/bib/000007020001
• Bibliographic Record Category (NDL): 214