機械加工を併用した大規模・高精度異方性エツチング

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: 機械加工を併用した大規模・高精度異方性エツチング
Title Transcription: キカイカコウオヘイヨウシタダイキボ・コウセイドイカタセイエツチング
Author/Editor: 諸貫, 信行, 東京都立大学
Author Heading: 著者：諸貫, 信行モロヌキ, ノブユキ ( 01228195 )Authorities
Publication Date: 1997-1998
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 高精度加工コウセイドカコウ
エツチングエツチング
シリコンシリコン
形状精度ケイジヨウセイド
直角度チヨクカクド
結晶面ケツシヨウメン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650143
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09650143
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007020021
http://id.ndl.go.jp/bib/000007020021
Bibliographic Record Category (NDL): 214