アルミニウムの原子層堆積法の確立

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Material Type: 図書
Title: アルミニウムの原子層堆積法の確立
Title Transcription: アルミニウムノゲンシソウタイセキホウノカクリツ
Author/Editor: 今井, 茂, 立命館大学
Author Heading: 今井, 茂イマイ, シゲル
Publication Date: 1997-1998
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 原子層堆積ゲンシソウタイセキ
アルミニウムアルミニウム
ジメチルアルミニウムハイドライドジメチルアルミニウムハイドライド
原子状水素ゲンシジヨウスイソ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650371
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09650371
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007020185
http://id.ndl.go.jp/bib/000007020185
Bibliographic Record Category (NDL): 214