シリコン/金属の超音波接合に及ぼす雰囲気の影響

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Material Type: 図書
Title: シリコン/金属の超音波接合に及ぼす雰囲気の影響
Title Transcription: シリコン/キンゾクノチョウオンパセツゴウニオヨボスフンイキノエイキョウ
Author/Editor: 加藤, 寛, 埼玉大学
Author Heading: 加藤, 寛カトウ, ヒロシ
Publication Date: 1997-1998
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 超音波接合チヨウオンパセツゴウ
シリコンシリコン
金属箔キンゾクハク
接合強さセツゴウツヨサ
接合雰囲気セツゴウフンイキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650780
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09650780
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007020445
http://id.ndl.go.jp/bib/000007020445
Bibliographic Record Category (NDL): 214