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図書

シリコン/金属の超音波接合に及ぼす雰囲気の影響

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シリコン/金属の超音波接合に及ぼす雰囲気の影響

Call No. (NDL)
Y151-H09650780
Bibliographic ID of National Diet Library
000007020445
Material type
図書
Author
加藤, 寛, 埼玉大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シリコン/キンゾク ノ チョウオンパ セツゴウ ニ オヨボス フンイキ ノ エイキョウ
Author/Editor
加藤, 寛, 埼玉大学
Author Heading
加藤, 寛 カトウ, ヒロシ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
超音波接合 チヨウオンパセツゴウ
シリコン シリコン
金属箔 キンゾクハク
接合強さ セツゴウツヨサ
接合雰囲気 セツゴウフンイキ