CVDダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシヤル成長における大面積化

• Material Type: 図書
• Title: CVDダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシヤル成長における大面積化
• Title Transcription: CVD ダイヤモンド ハクマク ノ ヘテロエピタキシヤル セイチョウ ニ オケル ダイ メンセキカ
• Author/Editor: 光田, 好孝, 東京大学
• Author Heading: 光田, 好孝 ミツダ, ヨシタカ
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; CVD CVD; エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ; 高配向成長 コウハイコウセイチヨウ; バイアス印加前処理 バイアスインカマエシヨリ; マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; 大面積堆積 ダイメンセキタイセキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650781
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09650781
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007020446; http://id.ndl.go.jp/bib/000007020446
• Bibliographic Record Category (NDL): 214