アモルフアスシリコンの極薄膜内における電子の挙動とそのデバイスへの応用

• Material Type: 図書
• Title: アモルフアスシリコンの極薄膜内における電子の挙動とそのデバイスへの応用
• Title Transcription: アモルフアスシリコン ノ キョクハクマク ナイ ニ オケル デンシ ノ キョドウ ト ソノ デバイス ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 松村, 正清, 東京工業大学
• Author Heading: 著者 ： 松村, 正清 マツムラ, マサキヨ ( 00103480 )Authorities
• Publication Date: 1985-1986
• Publication Date (W3CDTF): 1985
• Extent: 冊
• Subject Heading: 超薄膜 チヨウハクマク; アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン; 薄膜トランジスタ ハクマクトランジスタ; 熱酸化 ネツサンカ; 2段階堆積 2ダンカイタイセキ; 自己整合 ジコセイゴウ; プラズマCVD プラズマCVD; 半導体 ハンドウタイ; 絶縁体界面 ゼツエンタイカイメン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60460061
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S60460061
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007023670; http://id.ndl.go.jp/bib/000007023670
• Bibliographic Record Category (NDL): 214