Moisture sensor devices composing of plasma films プラズマフィルムを利用したFET湿度センサの開発に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: Moisture sensor devices composing of plasma films プラズマフィルムを利用したFET湿度センサの開発に関する研究
• Title Transcription: Moisture sensor devices composing of plasma films プラズマフィルム オ リヨウ シタ FET シツド センサ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 稲垣訓宏, 静岡大学
• Author Heading: 稲垣, 訓宏 イナガキ, ノリヒロ
• Publication Date: 1985-1986
• Publication Date (W3CDTF): 1985; 1986
• Extent: 冊
• Subject Heading: プラズマ重合 プラズマジユウゴウ; 薄膜 ハクマク; イオン基 イオンキ; 湿度センサー シツドセンサー; ヒステリシス ヒステリシス; 電気抵抗 デンキテイコウ; 電気容量 デンキヨウリヨウ; 相対湿度 ソウタイシツド
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60550570
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S60550570
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007025079; http://id.ndl.go.jp/bib/000007025079
• Bibliographic Record Category (NDL): 214