プラズマCVDによるカーボンコーテイング法の開発

• Material Type: 図書
• Title: プラズマCVDによるカーボンコーテイング法の開発
• Title Transcription: プラズマ CVD ニ ヨル カーボンコーテイングホウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 菅井, 秀郎, 名古屋大学
• Author Heading: 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ
• Publication Date: 1985-1986
• Publication Date (W3CDTF): 1985
• Extent: 冊
• Subject Heading: プラスマCVD プラスマCVD; カーボン カーボン; コーテイング コーテイング; カーボニゼーシヨン カーボニゼーシヨン; 水素リサイクリング スイソリサイクリング; ダイアモンド状薄膜 ダイアモンドジヨウハクマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60880001
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S60880001
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007026130; http://id.ndl.go.jp/bib/000007026130
• Bibliographic Record Category (NDL): 214