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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title
- Title Transcription
- ムキ ザイリョウ ノ アタラシイ ゴウセイ プロセス ト キノウ ヒョウカ
- Author/Editor
- 金丸, 文一, 大阪大学
- Author Heading
- 金丸, 文一 カナマル, フミカズ
- Publication Date
- 1986-1987
- Publication Date (W3CDTF)
- 1986
- Extent
- 冊
- Subject Heading
- CVD CVDPVD PVD光CVD ヒカリCVDプラズマCVD プラズマCVD人工格子 ジンコウコウシセラミツク薄膜 セラミツクハクマク超高圧合成法 チヨウコウアツゴウセイホウゾルーゲル法 ゾルーゲルホウ
- NDLC