Siの選択ドープ横方向固相成長法に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: Siの選択ドープ横方向固相成長法に関する研究
• Title Transcription: Si ノ センタク ドープ ヨコホウコウコソウ セイチョウホウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 石原宏, 東京工業大学
• Author Heading: 著者 ： 石原, 宏, 1945- イシハラ, ヒロシ, 1945- ( 00193235 )Authorities
• Publication Date: 1986-1987
• Publication Date (W3CDTF): 1986; 1987
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: 固相成長 コソウセイチヨウ; 横方向成長 ヨコホウコウセイチヨウ; SOI SOI; 非晶質シリコン ヒシヨウシツシリコン; 三次元集積回路 3ジゲンシユウセキカイロ; 選択ドーピング センタクドーピング
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 61460063
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S61460063
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007026772; http://id.ndl.go.jp/bib/000007026772
• Bibliographic Record Category (NDL): 214