負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: 負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発
• Title Transcription: フイオンビーム ニ ヨル ジョウチャクマク ・ ケッショウセイ セイギョ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 石川, 順三, 京都大学
• Author Heading: 著者 ： 石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )Authorities
• Publication Date: 1986-1987
• Publication Date (W3CDTF): 1986
• Extent: 冊
• Subject Heading: 負イオン フイオン; イオンビーム蒸着 イオンビームジヨウチヤク; イオン注入 イオンチユウニユウ; イオン源 イオンゲン; イオン装置 イオンソウチ; 膜形成 マクケイセイ; 結晶性制御 ケツシヨウセイセイギヨ; 電子離脱断面積 デンシリダツダンメンセキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 61460065
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S61460065
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007026774; http://id.ndl.go.jp/bib/000007026774
• Bibliographic Record Category (NDL): 214