負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発

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Material Type: 図書
Title: 負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発
Title Transcription: フイオンビームニヨルジョウチャクマク・ケッショウセイセイギョギジュツノカイハツ
Author/Editor: 石川, 順三, 京都大学
Author Heading: 著者：石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )Authorities
Publication Date: 1986-1987
Publication Date (W3CDTF): 1986
Extent: 冊
Subject Heading: 負イオンフイオン
イオンビーム蒸着イオンビームジヨウチヤク
イオン注入イオンチユウニユウ
イオン源イオンゲン
イオン装置イオンソウチ
膜形成マクケイセイ
結晶性制御ケツシヨウセイセイギヨ
電子離脱断面積デンシリダツダンメンセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 61460065
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S61460065
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007026774
http://id.ndl.go.jp/bib/000007026774
Bibliographic Record Category (NDL): 214