結晶模型による半導体/絶縁膜界面物性の評価

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Material Type: 図書
Title: 結晶模型による半導体/絶縁膜界面物性の評価
Title Transcription: ケッショウモケイニヨルハンドウタイ/ゼツエンマクカイメンブッセイノヒョウカ
Author/Editor: 大泊巌, 早稲田大学
Author Heading: 著者：大泊, 巌オオドマリ, イワオ ( 00875965 )Authorities
Publication Date: 1986-1988
Publication Date (W3CDTF): 1986
1988
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 界面構造カイメンコウゾウ
モデリングモデリング
分子軌道法ブンシキドウホウ
酸化過程サンカカテイ
SOI構造 SOIコウゾウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 61460069
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S61460069
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007026778
http://id.ndl.go.jp/bib/000007026778
Bibliographic Record Category (NDL): 214