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直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄膜音響特性測定法に関する研究

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直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄膜音響特性測定法に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-S61460145
Bibliographic ID of National Diet Library
000007026849
Material type
図書
Author
中鉢, 憲賢, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1986-1987
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
直線集束ビーム超音波顕微鏡による薄膜音響特性測定法に関する研究
Title Transcription
チョクセン シュウソク ビーム チョウオンパ ケンビキョウ ニ ヨル ハクマク オンキョウ トクセイ ソクテイホウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
中鉢, 憲賢, 東北大学
Author Heading
中鉢, 憲賢 チュウバチ, ノリヨシ
Publication Date
1986-1987
Publication Date (W3CDTF)
1986
Extent
冊
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
直線集束ビーム超音波顕微鏡 チヨクセンシユウソクビームチヨウオンパケンビキヨウ
音響特性 オンキヨウトクセイ
漏洩弾性表面波 ロウエイダンセイヒヨウメンハ
定量計測 テイリヨウケイソク
音速 オンソク
層状構造 ソウジヨウコウゾウ
速度分散 ソクドブンサン
誘電体膜 ユウデンタイマク
酸化シリコン サンカシリコン
窒化シリコン チツカシリコン
ZnO圧電薄膜 ZNOアツデンハクマク
ZnO単結晶膜 ZNOタンケツシヨウマク
イオン注入層 イオンチユウニユウソウ