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窒化アルミ/アルミナ組成変調構造の作製とその弾性波デバイスへの応用

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窒化アルミ/アルミナ組成変調構造の作製とその弾性波デバイスへの応用

Call No. (NDL)
Y151-S61550272
Bibliographic ID of National Diet Library
000007028051
Material type
図書
Author
山口, 正恆, 千葉大学
Publisher
-
Publication date
1986-1987
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チッカ アルミ/アルミナ ソセイ ヘンチョウ コウゾウ ノ サクセイ ト ソノ ダンセイハ デバイス ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
山口, 正恆, 千葉大学
Author Heading
山口, 正恆 ヤマグチ, マサツネ
Publication Date
1986-1987
Publication Date (W3CDTF)
1986
Extent
Subject Heading
ZnO ZNO
AlN ALN
スパツタ スパツタ
弾性波 ダンセイハ
SAW SAW
組成変調構造 ソセイヘンチヨウコウゾウ
弾性的超格子 ダンセイテキチヨウコウシ
有限要素法 ユウゲンヨウソホウ
NDLC