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図書

高純度シリコンの製造に関する研究

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高純度シリコンの製造に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-S61850121
Bibliographic ID of National Diet Library
000007029401
Material type
図書
Author
前田, 正史, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1986-
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウジュンド シリコン ノ セイゾウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
前田, 正史, 東京大学
Author Heading
著者 : 前田, 正史, 1952- マエダ, マサフミ, 1952- ( 00832368 )Authorities
東京大学 トウキョウ ダイガク ( 00305733 )Authorities
Publication Date
1986-
Publication Date (W3CDTF)
1986
Extent
Subject Heading
高純度シリコン コウジユンドシリコン
炭素還元 タンソカンゲン
シリカ シリカ
一酸化珪素 1サンカケイソ
炭化珪素 タンカケイソ
カーボンブラツク カーボンブラツク
NDLC