半導体上金属超薄膜の電子構造と力学的耐久性の内部応力による変化

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Material Type: 図書
Title: 半導体上金属超薄膜の電子構造と力学的耐久性の内部応力による変化
Title Transcription: ハンドウタイジョウキンゾクチョウハクマクノデンシコウゾウトリキガクテキタイキュウセイノナイブオウリョクニヨルヘンカ
Author/Editor: 金原, 粲, 東京大学
Author Heading: 金原, 粲キンバラ, アキラ
Publication Date: 1987-1989
Publication Date (W3CDTF): 1987
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 薄膜ハクマク
スパタリングスパタリング
内部応力ナイブオウリヨク
付着力フチヤクリヨク
RHEED RHEED
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62460057
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S62460057
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007030218
http://id.ndl.go.jp/bib/000007030218
Bibliographic Record Category (NDL): 214