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新しい高効率高輝度紫外・真空紫外光源(エキシマ・フラツシユランプ)の研究開発

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新しい高効率高輝度紫外・真空紫外光源(エキシマ・フラツシユランプ)の研究開発

Call No. (NDL)
Y151-S62460137
Bibliographic ID of National Diet Library
000007030293
Material type
図書
Author
小原, 寛, 慶応義塾大学
Publisher
-
Publication date
1987-1988
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
アタラシイ コウコウリツ コウキド シガイ ・ シンクウ シガイ コウゲン(エキシマ ・ フラツシユランプ) ノ ケンキュウ カイハツ
Author/Editor
小原, 寛, 慶応義塾大学
Author Heading
小原, 寛 オバラ, ミノル
Publication Date
1987-1988
Publication Date (W3CDTF)
1987
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
紫外光源 シガイコウゲン
真空紫外光源 シンクウシガイコウゲン
エキシマ エキシマ
フラツシユランプ フラツシユランプ
パルス放電 パルスホウデン
マイクロ波放電 マイクロハホウデン