スパツター法による薄膜のアモルフアス化とスパツター粒子の挙動に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: スパツター法による薄膜のアモルフアス化とスパツター粒子の挙動に関する研究
• Title Transcription: スパツターホウ ニ ヨル ハクマク ノ アモルフアスカ ト スパツター リュウシ ノ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 花田, 禎一, 京都大学
• Author Heading: 花田, 禎一 ハナダ, テイイチ
• Publication Date: 1987-1988
• Publication Date (W3CDTF): 1987
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: スパツタ粒子 スパツタリユウシ; 質量分析 シツリヨウブンセキ; スパツタリング スパツタリング; 中性スパツタ粒子 チユウセイスパツタリユウシ; イオン性スパツタ粒子 イオンセイスパツタリユウシ; 石英ガラス セキエイガラス; 二酸化テルル 2サンカテルル
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62470063
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S62470063
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007030443; http://id.ndl.go.jp/bib/000007030443
• Bibliographic Record Category (NDL): 214