ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素等の非平衡薄膜のプラズマによる合成

• Material Type: 図書
• Title: ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素等の非平衡薄膜のプラズマによる合成
• Title Transcription: ダイヤモンド 、 リッポウショウ チッカ ホウソ トウ ノ ヒヘイコウ ハクマク ノ プラズマ ニ ヨル ゴウセイ
• Author/Editor: 松本, 修, 青山学院大学
• Author Heading: 松本, 修 マツモト, オサム
• Publication Date: 1987-1989
• Publication Date (W3CDTF): 1987
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: ダイヤモンド ダイヤモンド; 透明半導反動性炭素質膜 トウメイハンドウハンドウセイタンソシツマク; 立方晶窒化ホウ素 リツポウシヨウチツカホウソ; 非平衡薄膜 ヒヘイコウハクマク; マイクロ波放電 マイクロハホウデン; プラズマジエツト プラズマジエツト; ECR ECR
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 62470068
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S62470068
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007030448; http://id.ndl.go.jp/bib/000007030448
• Bibliographic Record Category (NDL): 214