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図書

ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素等の非平衡薄膜のプラズマによる合成

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ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素等の非平衡薄膜のプラズマによる合成

Call No. (NDL)
Y151-S62470068
Bibliographic ID of National Diet Library
000007030448
Material type
図書
Author
松本, 修, 青山学院大学
Publisher
-
Publication date
1987-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ダイヤモンド 、 リッポウショウ チッカ ホウソ トウ ノ ヒヘイコウ ハクマク ノ プラズマ ニ ヨル ゴウセイ
Author/Editor
松本, 修, 青山学院大学
Author Heading
松本, 修 マツモト, オサム
Publication Date
1987-1989
Publication Date (W3CDTF)
1987
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
ダイヤモンド ダイヤモンド
透明半導反動性炭素質膜 トウメイハンドウハンドウセイタンソシツマク
立方晶窒化ホウ素 リツポウシヨウチツカホウソ
非平衡薄膜 ヒヘイコウハクマク
マイクロ波放電 マイクロハホウデン
プラズマジエツト プラズマジエツト
ECR ECR