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アーク及びアーク・グロー移行領域の放電を用いた粒状・膜状ダイヤモンドの高速合成

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アーク及びアーク・グロー移行領域の放電を用いた粒状・膜状ダイヤモンドの高速合成

Call No. (NDL)
Y151-S62550016
Bibliographic ID of National Diet Library
000007031330
Material type
図書
Author
犬塚, 直夫, 青山学院大学
Publisher
-
Publication date
1987-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
アーク オヨビ アーク ・ グロー イコウ リョウイキ ノ ホウデン オ モチイタ リュウジョウ ・ マクジョウ ダイヤモンド ノ コウソク ゴウセイ
Author/Editor
犬塚, 直夫, 青山学院大学
Author Heading
犬塚, 直夫 イヌヅカ, タダオ
Publication Date
1987-1989
Publication Date (W3CDTF)
1987
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
ダイヤモンド ダイヤモンド
薄膜 ハクマク
エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ
化学蒸着 カガクジヨウチヤク
プラズマ プラズマ
高速合成 コウソクゴウセイ