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図書

放電励起による真空紫外希ガスエキシマレーザーの開発

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放電励起による真空紫外希ガスエキシマレーザーの開発

Call No. (NDL)
Y151-S62550042
Bibliographic ID of National Diet Library
000007031340
Material type
図書
Author
佐々木, 亘, 大阪府立大学
Publisher
-
Publication date
1987-1989
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ホウデンレイキ ニ ヨル シンクウ シガイキガスエキシマレーザー ノ カイハツ
Author/Editor
佐々木, 亘, 大阪府立大学
Author Heading
佐々木, 亘 ササキ, ワタル
Publication Date
1987-1989
Publication Date (W3CDTF)
1987
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
希ガスエキシマレーザー キガスエキシマレーザー
真空紫外レーザー シンクウシガイレーザー
放電励起 ホウデンレイキ
エキシマ エキシマ
エキシマスペクトル エキシマスペクトル